上海太阳3为您介绍什么是灵敏设备地板振动规范表!
来源:上海太阳3为您介绍什么是灵敏设备地板振动规范表! 宣布于:2015-12-23 10:20 浏览:
太阳3注册_太阳3平台生产种种弹簧减震器产物,以下是太阳3注册技术部对灵敏设备的地板震动规范做出的表格,方便各人学习减震器产物!
灵敏设备地板振动规范表
灵敏设备地板振动规范表
曲线
准则 *.大位准
(μinch/sec) 制程.高
解析度(μm) 适用场所
工厂 32000(90) * 可清楚的感受到振动,适用于工厂及对振动不敏感的区域。
办公室 16000(78) * 稍微可感受到振动,适用于办公室及对振动不敏感的区域。
住宅区(白昼) 8000(78) 75 险些感受不到振动,*般的卧室或起居室都切合
此*要求,大部门的电脑设备、测试用的探头设备及低倍率的显微镜(X 20倍以下)均可胜任。
手术室 4000(72) 25 感受不到振动,适用于低倍率的显微镜(X 100倍以下)及其他对振动敏感度较低的仪器。
VC-A 2000(66) 8 放大倍率*400倍的光学显微镜在此情况下均可胜任。
VC-B 1000(60) 3 1000倍以下的光学显微镜,3?m制程的光学检测设备及光学平板印刷设备(包罗步进机-Steppers)均可适用于此*规格。
VC-C 500(54) 1 此准则为1μm制程的光学检测设备以及光学平板印刷设备的*良好之规范尺度。
VC-D 250(48) 0.3 大部门的设备包罗电子显微镜(TEM及SEM)及E-Beam系统在运转时都市要求振动情况要在此规模内才可保障设备的性能可充实发挥。
VC-E 125(42) 0.1 在大部门的情况下此*尺度不易到达。通常是*些以雷射为主、行程较长、聚焦点较小的设备或其他的系统才会要求如此的振动情况。
*频率规模8~100Hz。